半導体施設ソリューション
半導体FAB設備資産管理
FABごとに分散した設備の位置情報とチャンバーの交換履歴を、一つの資産基準に統合します。新設のFABにも同じ管理基準を適用し、設備の実地確認と監査対応を体系化します。
工程設備とチャンバーの構成関係・交換履歴を管理
工程設備とチャンバー、付属モジュールに汎用タグのORBRO Tagを取り付け、資産番号と結び付けます。TwinTracker AoAが集めた位置情報はORBRO Serverに保存され、ORBRO OSで設備の位置と登録した構成関係、移動と交換の履歴を確認します。
TwinTracker AoA
FABの通路と設備のエリアに設置し、トラッカーや移動する資産のBLE信号を収集します。必要な位置の精度に応じて、BLEによるエリアの確認とAoAによる測位を構成します。受信の品質と、多数の機器の同時受信の状態、バックホールの接続状態、機器の復旧の状態を併せて点検します。
設備・チャンバー構成管理
主設備とチャンバー、付属モジュールを一つの設備構成として結び付けます。 設備の移動やチャンバーの交換が起きても、同じ資産番号を基準に変更の履歴を連続して管理します。
EQ IDに基づく設備資産登録
EQ Master CodeとEQ ID、Asset No.をトラッカーIDに結び付け、現場の設備と資産台帳を一致させます。設備が別のエリアやFABへ移っても、これまでの資産履歴を保ちます。新設のFABにも同じコード体系を適用できます。
主設備とチャンバー構成の確認
主設備とチャンバー、付属モジュールに取り付けた汎用タグの識別値を、それぞれの資産番号に結び付けます。資産台帳に登録した設備の構成関係と受信した位置情報を併せて確認し、チャンバーを交換したときは接続先と変更の時刻を更新します。
設備移動・チャンバー交換履歴
設備の移動元のエリアと現在のエリア、移動の時刻を時系列で保存します。承認された再配置と、確認が必要な移動とを区分して実地確認の対象を絞り込み、チャンバーが別の主設備に接続されたときは変更の前後の構成を比べます。
資産情報と点検状態の照会
ORBRO OSで設備コードと点検の状態、所属するエリアを確認します。資産番号に結び付いたタグの情報も併せて照会し、資産台帳と現場の設備を照合します。設備の移動やチャンバーの交換が起きた場合は、登録した構成関係と変更の履歴を確かめ、管理の対象を区分します。
FAB運用データの統合
ウェハとキャリアの工程履歴、保守資産の位置記録を設備データに結び付けます。 FABごとの資産の実地確認と保守、デジタルツインに活用する共通の資産情報を蓄積します。
ウェハ・FOUP工程履歴の連携
MESのLot IDとウェハID、AMHSのFOUP移動記録を連携すると、キャリアが通った設備と工程のエリアを時系列で照会できます。設備の交換と保守の時点も併せて確認し、工程履歴をたどる時間を短くします。
保守設備・カート位置の検索
測定器や保守設備、運搬カートに小型のタグを取り付け、現在のエリアと最終受信時刻を確認します。必要な資産を検索すると、近くの工程設備と担当のエリアも併せて確認できます。タグを直接取り付けにくい品目は、保管箱や専用ケースを一つの資産として登録します。
FAB BLEインフラ状態の点検
BLE APの接続状態と受信の品質、最終通信時刻を一つの画面で点検します。多数のトラッカーの同時受信の状態と、有線・無線のネットワークの接続状態を確認します。障害が起きたときは再接続の試行と復旧の結果を記録し、優先して点検する対象を識別します。
EAM・デジタルツイン連携
設備の位置と構成関係、移動履歴をEAMや設備ポータルへ渡せます。MESとAMHSの工程記録を同じEQ IDで結び付け、資産データと生産データの整合性を確保します。複数のFABへ広げるときに蓄積される資産情報は、設備の配置の検討やデジタルツインの運用に活用できます。
推奨製品
ORBRO OSベースの構成要素
各ソリューションはORBRO OS上で様々な製品と連携して動作します。適用範囲や現場条件に応じて柔軟に構成を変更可能です。
