반도체 시설 솔루션

공정장비와 챔버 자산 통합 관리

팹별로 분산된 설비 위치 정보와 챔버 교체 이력을 하나의 자산 기준으로 통합합니다. 신규 팹에도 동일한 관리 기준을 적용해 설비 실사와 감사 대응을 체계화합니다.

공정장비와 챔버의 구성 관계를 자산 이력으로 관리합니다

Master Tracker는 메인 장비를 식별하고, Slave Tracker는 챔버와 부속 모듈의 신호를 전달합니다. BLE·AoA 인프라가 수집한 구역 정보와 장비 구성 관계는 ORBRO Server에 저장되며, ORBRO OS에서 장비 이동과 챔버 교체 이력으로 확인할 수 있습니다.

TwinTracker AoA

팹 통로와 장비 구역에 설치해 트래커와 이동 자산의 BLE 신호를 수집합니다. 필요한 위치 정확도에 따라 BLE 구역 확인과 AoA 위치 측정을 구성합니다. 수신 품질과 다수 장치의 동시 수신 상태, 백홀 연결 상태, 장치 복구 상태를 함께 점검합니다.

장비와 챔버 구성 관계 통합

메인 장비와 챔버, 부속 모듈을 하나의 설비 구성으로 연결합니다. 장비 이동이나 챔버 교체가 발생해도 동일한 자산번호를 기준으로 변경 이력을 연속적으로 관리합니다.

EQ ID 기반 설비 자산 등록

EQ Master Code와 EQ ID, Asset No.를 트래커 ID와 연결해 현장 장비와 자산대장을 일치시킵니다. 설비가 다른 구역이나 팹으로 이동해도 기존 자산 이력을 유지합니다. 신규 팹에도 동일한 코드 체계를 적용할 수 있습니다.

메인 장비와 챔버 구성 관계 확인

Master Tracker가 주변 Slave Tracker의 BLE 신호를 수집해 메인 장비에 연결된 챔버와 부속 모듈을 확인합니다. 설정된 신호 세기와 지속 시간 기준으로 인접 장비의 신호를 구분하고, 챔버 교체 시 새 구성 관계와 변경 시각을 기록합니다.

장비 이동·챔버 교체 이력 관리

설비의 이전 구역과 현재 구역, 이동 시각을 시간 순서로 저장합니다. 승인된 재배치와 확인이 필요한 이동을 구분해 설비 실사 대상을 좁히고, 챔버가 다른 메인 장비에 연결되면 이전 구성과 새 구성을 비교합니다.

ORBRO UWB Tag와 자산 정보 연동

정밀 위치 확인이 필요한 장비와 이동 자산의 EQ ID, Asset No.를 ORBRO UWB Tag에 연결할 수 있습니다. 연동 범위가 확정되면 장비 이동과 챔버 교체에 따른 자산 정보와 태그 연결 정보의 갱신 규칙을 설정합니다. 작업자는 ORBRO OS에서 장비 코드와 점검 상태, 소속 구역을 확인합니다.

팹 자산 데이터의 통합 활용

웨이퍼·캐리어의 공정 이력과 유지보수 자산의 위치 기록을 설비 데이터에 연결합니다. 팹별 자산 실사와 유지보수, 디지털 트윈에 활용할 공통 자산 정보를 축적합니다.

웨이퍼·FOUP 공정 이력 연계

MES의 Lot ID와 웨이퍼 ID, AMHS의 FOUP 이동 기록을 연동하면 캐리어가 거친 장비와 공정 구역을 시간 순서로 조회할 수 있습니다. 장비 교체와 유지보수 시점을 함께 확인해 공정 이력 추적 시간을 줄입니다.

유지보수 장비·카트 위치 조회

측정기와 유지보수 장비, 운반 카트에 소형 태그를 부착해 현재 구역과 최종 수신 시각을 확인합니다. 필요한 자산을 검색하면 가까운 공정장비와 담당 구역을 함께 확인할 수 있습니다. 직접 태그 부착이 어려운 품목은 보관함이나 전용 케이스를 하나의 자산으로 등록합니다.

팹 BLE 인프라 상태 점검

BLE AP의 연결 상태와 수신 품질, 최종 통신 시각을 한 화면에서 점검합니다. 다수 트래커의 동시 수신 상태와 유·무선 백홀 연결 상태를 확인하고, 장애 발생 시 재연결 시도와 복구 결과를 기록해 우선 점검 대상을 식별합니다.

EAM·디지털 트윈 데이터 연계

장비 위치와 구성 관계, 이동 이력을 EAM과 설비 포털에 전달할 수 있습니다. MES·AMHS의 공정 기록을 동일한 EQ ID로 연결해 자산 데이터와 생산 데이터의 정합성을 확보합니다. 여러 팹으로 확장할 때 축적되는 자산 정보는 설비 배치 검토와 디지털 트윈 운영에 활용할 수 있습니다.

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